シリコンに力を加えることで，その結晶構造を変化させ，電子やホールの移動度を向上させる技術をひずみシリコンといいます．移動度が向上することによりLSI の動作速度が向上します．近年，高速プロセッサの性能向上の手法の一つとして注目されており，動作速度を30 ％程度向上したり，リーク電流を削減した事例などが報告されています．