シリコンに力を加えることで,その結晶構造を変化させ,電子やホールの移動度を向上させる技術をひずみシリコンといいます.移動度が向上することによりLSI の動作速度が向上します.近年,高速プロセッサの性能向上の手法の一つとして注目されており,動作速度を30 %程度向上したり,リーク電流を削減した事例などが報告されています.