放射線によってLSI の動作不良が引き起こされる現象を指します.ソフト・エラーを引き起こす放射線には,高エネルギ中性子,α粒子,熱中性子があります.現在の主因は高エネルギ中性子で,α粒子や熱中性子の影響は小さくなっています.