LSI 製造における微細加工技術の総称です．かつて技術ノード（設計ルール，最小加工寸法）はメタル（金属）配線の最小ハーフ・ピッチという定義でしたが，現在は製品によりさまざまな定義に基づいて使用されているようです．Altera 社の場合，例えば「90nm プロセス技術」といった場合の「90nm」は，ポリゲートの最小ハーフ・ピッチと定義しています．