リークは，絶縁されていても電流が量子力学的な効果などによって漏れ出してしまう現象をいいます．リーク電流は，半導体の微細化が進むと指数関数的に増加します．最近のLSI は消費電力が大きな問題となっていますが，微細化が進んだことによって増加したリーク電流がその大きな要因として挙げられています．このリーク電流を抑制するため，絶縁膜に低い誘電率を持つ素材を使うなどの技術開発が進んでいます．